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                    三溫區PECVD

                    簡要描述:三溫區PECVD產品簡介:本設備主要針對實驗和中試石墨烯生長和制備使用,同時該設備可以用于碳納米管的生長??芍苽涑龈哔|量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領域。

                    • 產品型號:
                    • 廠商性質:生產廠家
                    • 更新時間:2021-09-30
                    • 訪  問  量:2254

                    產品分類

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                    品牌貝意克價格區間面議
                    儀器種類管式爐產地類別國產
                    應用領域環保,化工,能源,電子,電氣

                    BTF-1200C-PECVD高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,有利于爐內溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環負反饋控制系統,控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫,電力調制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數,無須操作人員的干預,可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號,同時系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經驗的要求,關鍵電氣元件采用優質的進口產品,做到高性能、免維護,提高了設備質量的可靠性。              

                     1、加熱系統

                    最高溫度

                    1200℃

                    使用溫度

                    ≤1100℃

                    爐膛有效尺寸

                    Φ100mm(適用于2-3英寸樣品,爐管直徑可根據實際需要定制。)

                    爐膛材料

                    氧化鋁、高溫纖維制品

                    熱電偶類型

                    K型熱電偶

                    控溫精度

                    ±1℃

                    控溫方式

                    30段可編程控溫,PID參數自整定,操作界面為7"工控電腦,內置PLC控制序。

                    加熱長度

                    200+200+200mm

                    恒溫長度

                    400mm

                    加熱原件

                    電阻絲

                    供電電源

                    單相,220V,50Hz

                     2、PE射頻電源

                    功率輸出范圍

                    0W~500W

                    最大反射功率

                    100W

                    射頻輸出接口

                    50 Ω, N-type, female

                    功率穩定度

                    ≤5W

                    諧波分量

                    ≤-50dbc

                    供電電壓

                    單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

                    整機效率

                    >=70%

                    功率因素

                    >=90%

                    冷卻方式

                    強制風冷

                    3、三路質子流量控制系統

                    連接頭類型

                    雙卡套不銹鋼接頭

                    標準量程(N2)

                    50sccm,100sccm、500sccm(可根據用戶要求定制)

                    準確度

                    ±1.5%F.S

                    線性

                    ±1%F.S

                    重復精度

                    ±0.2%F.S

                    響應時間

                    氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

                    工作壓差范圍

                    0.1~0.5 MPa

                    最大壓力

                    3MPa

                    接口

                    Φ6,1/4''

                    顯示

                    4位數字顯示

                    工作環境溫度

                    5~45高純氣體

                    壓力真空表

                    -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

                    截止閥

                    Φ6

                    內外雙拋不銹鋼管

                    Φ6

                    4、低真空機組

                    空氣相對濕度

                    ≤85%

                    工作環境

                    5℃~40℃

                    工作電電壓

                    220V±10%  50~60HZ

                    功率

                    1KW

                    抽氣速率

                    10m3/h

                    極限真空

                    5X10-1Pa

                    工作壓力范圍

                    1.01325X105~1.33X10-2Pa

                    耐壓值

                    0.03MPa

                    容油量

                    1.1L

                    進氣口口徑

                    KF25

                    排氣口口徑

                    KF25

                    噪音

                    50dB

                    連接方式

                    采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連


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                      請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
                    安徽貝意克設備技術有限公司
                    地址:安徽省合肥市宜秀路6號貝意克肥西基地
                    郵箱:besteq@163.com
                    傳真:86-0551-65148123
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